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佳能NIL设备出货:不需要EUV制造5nm芯片成本低90%

作者:小编 日期:2024-11-21 阅读量:

  目前制造7nm以下,全部采用光刻技术。而EUV光刻机,则是制造7nm以下芯片,必不可少的设备,全球只有ASML一家能够生产,最便宜的EUV光刻机,都需要1.5亿欧元左右一台。

  而像三星、台积电、intel等,众多的芯片厂,都是从ASML那抢购EUV光刻机,可见这个市场,目前还是卖方市场,不是买方市场。

佳能NIL设备出货:不需要EUV制造5nm芯片成本低90%(图1)

  在这样的情况之下,其它设备厂商,也是蠢蠢欲动,想要生产出与EUV抗衡的设备来,但生产EUV光刻机,则不太现实,因为一些核心供应链、专利等,都被ASML垄断了。

  所以其它厂商,都是通过其它办法,来生产类似于EUV的光刻机,制造5nm芯片。

  比如佳能,就走的是纳米压印这条路,纳米压印技术的原理很简单,就像盖章一样,第一步先雕刻一个图章出来,下一步拿这个图章,直接印到硅晶圆上,就形成了电路图。

佳能NIL设备出货:不需要EUV制造5nm芯片成本低90%(图2)

  只要这个图章不磨损,就可以一直盖章盖下去,看起来确实简单很多,原理也简单。

  去年的时候,佳能正式发布了全球首款NIL系统FPA-1200NZ2C,表示这台设备,可以制造最小线nm的芯片,从工艺制程来看,也就是5nm。

  而近日,佳能的这个设备,正式出货了,第一个客户是美国德克萨斯州的半导体联盟德克萨斯电子研究所 (TIE)。

佳能NIL设备出货:不需要EUV制造5nm芯片成本低90%(图3)

  按照佳能的说法,这种NIL纳米压机,其售价只有EUV光刻机的10%左右,大约也就是1500万欧元。而使用NIL设备来制造芯片,一整套设备的成本,相比于EUV光刻机生产线%。

  看起来似乎便宜很多,优势明显,但其实NIL纳米压印的缺点也非常明显,一是生产效率不高,其产能,无法和EUV光刻机相比,如果像台积电这种大规模制造芯片,很难实现。

  另外就是使用NIL设备来制造芯片,几乎整套设备生产线,都要换掉,和EUV生产线不兼容。

佳能NIL设备出货:不需要EUV制造5nm芯片成本低90%(图4)

  所以,目前真正愿意使用NIL生产线来制造芯片的厂商,并不多,因为有这个能力制造5nm芯片的厂商,之前的生产线,大多都是基于EUV的,全部换掉,不太现实。

  所以购买佳能NIL设备的,主要是一些研究机构,大家也没有大规模生产芯片的需求,更多的的研究需要。

  当然,中国其实是有机会成为佳能NIL设备的最大客户的,毕竟我们买不到EUV,也没有EUV生 线开始的建设NIL生产线,非常合适,但因为禁令,佳能不能卖给中国,真是遗憾。


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